上银HIWIN直线导轨驱动的单臂晶圆机器人解决方案

产品概述

上银科技（HIWIN）作为全球领先的直线导轨和直驱马达制造商，为半导体行业提供高精密运动控制解决方案。我们的RWS和RWSE单臂晶圆机器人采用上银直线电机和HIWIN直线导轨技术，实现卓越性能。

RWS单臂晶圆机器人

核心特点

- 采用上银直线导轨高刚性设计

- 配备高精密直驱马达（重复精度±0.02mm）

- 创新回转半径设计，空间利用率提升30%

- 完整软硬件垂直整合方案

技术优势

- 基于HIWIN导轨的稳定运动平台

- 上银直线导轨官网认证的耐久性标准

- 适用于EFEM环境的高洁净度要求

RWSE单臂晶圆机器人

升级特性

- 采用HIWIN直线导轨增强型结构

- 重复精度±0.1mm（符合上银官网技术标准）

- 支持非径向取放功能

- 可选配末端翻转模组（马达驱动）

行业应用

半导体制造

- 晶圆取放（兼容EFEM标准）

- 半导体设备集成

光电产业

- 小型面板搬运

- 太阳能板处理

LED产业

- 蓝宝石基板传输

- 胶环自动化处理

上银科技支持

所有机器人产品均采用HIWIN直线导轨官网推荐的维护方案，用户可通过hiwin上银官网获取：

- 最新技术文档

- 维护指南

- 定制化解决方案

如需了解上银导轨或上银直线导轨官网更多产品信息，请访问我们的官方网站获取上银直线导轨完整技术规格。