上银（HIWIN）技术驱动的双臂晶圆机器人解决方案

产品系列

RWD双臂晶圆机器人

核心特征：

- 采用上银导轨 上银丝杆（HIWIN直线导轨）技术，实现高精密直驱运动

- 重复精度高达±0.02mm，展现上银导轨的超高精度性能

- 创新设计带来极小回转半径，最大化洁净室空间利用率

- 完整软硬件垂直整合方案

RWDE双臂晶圆机器人

进阶性能：

- 搭载上银直线导轨（HIWIN直线导轨）的高刚性直驱系统

- ±0.1mm重复精度满足严苛制程要求

- 支持非径向取放和末端模组翻转功能

- 延续空间优化设计，回转半径更小

行业应用

本系列产品广泛应用于：

- 半导体制造：晶圆搬运与精准定位（采用HIWIN导轨确保运动精度）

- 光电产业：小型面板、太阳能板高效传输

- LED生产：蓝宝石基板、胶环等精密部件处理

技术优势

通过整合上银官网（hiwin上银官网）提供的核心组件：

- 采用EFEM环境兼容设计

- 基于上银直线导轨官网推荐的高端配置方案

- 实现设备长期稳定运行和极低维护成本

更多技术细节和规格参数，请访问上银导轨官网或HIWIN直线导轨官网获取专业支持。